第337章 这些难题有劲儿！决神出歌了？（加更） (第1/2页)
“行！”
林决眼神兴奋，轻轻按下按钮，打开了模组舱门。
下一刻。
真空舱门沿着导轨打开，一股干燥的空气注入。
林决伸头去看，便见整个内部都是银灰金属材质腔体。
“原来这就是超黑消光内壁......老说，我看胡院士的手稿中说，这就是用真空镀膜工艺做的无机纳米级黑消光涂层？”
陈望山点头，
“是的！这是为EUV波段专门定制的，吸收率能够达到99.99以上。”
“哈......”
林决笑了笑。
心中默念，【超频】启动！
下一刻。
林决视野中。
腔体内部忽然活了起来。
他仿佛清晰看到。
那些高能EUV光在进入腔体后开始暴走。
它们乱窜，叠影，到处飞散。
但很快.....
这些光落入那片黑色的内壁之中，被完完全全吞噬，一丝不剩！
光是在脑海感受着这一切，林决仿佛整个大脑都在颤栗。
“这靠表面纳米级的微观多孔结构，就能将跑乱的杂散光全部锁进结构缝隙，然后通过光的干涉，反复消耗，彻底吸收，杜绝一切无用反射......”
“精准优雅中，又带着绝对的秩序吗？”
“很好很强大！”
他嘴角轻轻咧开。
眼中的兴奋和炙热肉眼可见。
要不是这些设备精良到令人发指的程度，林决都想上手触碰触碰，感受感受了。
与此同时......
旁边陪同的黄所，在看到林决那狂热的神情后，不禁露出笑容。
这可是国家最顶级的EUV光学平台，随便一个小器件，都是价值连城！
这种“玩具”，谁能拒绝！？
不过嘛.....
现在国内整个领域，能统领这个实验室的，可能一只手都能数得过来！
接下来的一个半小时。
林决又看了看EUV等离子体锡光源发生系统，超精密双工件台系统，以及多层膜反射镜检查镀膜一体机......
而在近距离接触这些玩意儿后。
林决心中那股学习的欲望，此时正在不断膨胀和疯涨！
虽然此时实验室设备并未真正运行。
但在林决脑海中，在【超频】加持下。
这里的整个系统，已经开始运转联动着！
光子的诞生、光路整形、杂光掩灭、精准反射、纳米刻蚀、精密检测.......
眼前这座国家级实验室里面的所有设备，已经基本复刻的EUV光刻最核心的微观光学原理！
不过......
如此精密的系统，却只是系统验证平台和光学实验装置。
它还并不是大众所熟知的EUV光刻机！
而真正的光刻机.....
是在这些原理上，再精密千倍万倍！！！
林决接下来要做的......
是将数套精密的的系统耦合，让他们持续稳定运行上亿次的同时，还要消除长期工况下热漂移和振动干扰！
除此之外.....
还有纳米级的重复定位精度，满足晶圆产量的持续产能与良品率等等等等.......
“呼......”
林决长长吐出一口气。
这些难题有劲儿，还真是道阻且长啊。
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